中國大尺寸硅片布局盤點

目前國內(nèi)12英寸晶圓幾乎全部靠進口，國內(nèi)的12英寸硅片月生產(chǎn)量約5萬片。由于晶圓廠建好后，可能要面臨無米下鍋的局面。為了彌補半導(dǎo)體硅晶圓的供應(yīng)缺口，降低進口仰賴程度，我國正積極邁向8英寸與12英寸硅片生產(chǎn)，多項重大投資正在啟動中，大都鎖定12英寸硅晶圓，當(dāng)然8英寸項目也不少。

芯思想研究院對國內(nèi)的大硅片生產(chǎn)布局進行了調(diào)研整理。

芯思想研究院調(diào)研發(fā)現(xiàn)，目前宣布的12英寸硅片項目多達20個，根據(jù)各家公司公布情況來看，總投資金額超過1400億，12英寸硅片總規(guī)劃月產(chǎn)能到2023年前后合計超過650萬片，如果加上天芯硅片、中芯環(huán)球、濟南項目，12英寸硅片總規(guī)劃月產(chǎn)能將可能高達800萬片，約是2018年全球12英寸硅片月需求的2倍。

目前，國產(chǎn)硅片供應(yīng)商主要是集中在供應(yīng)8英寸及以下硅片，無法滿足主流需求。國內(nèi)大硅片牢牢掌控在海外廠家手中，這對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化而言始終是一大隱患。因此，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，上游材料端必須與之配套加快國產(chǎn)化進程。2016年《中國集成電路產(chǎn)業(yè)“十三五”發(fā)展規(guī)劃建議》中提出，在材料領(lǐng)域，力爭到2020年關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)化技術(shù)水平達到40-28nm工藝要求，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，部分專業(yè)領(lǐng)域推進到20-14nm，培育2-3家材料企業(yè)成為全球知名品牌。

中國大陸多個12英寸大硅片項目開工建設(shè)，將引發(fā)人才搶奪大戰(zhàn)。全球12英寸大硅片人才本就缺乏，如何做好人才引智工作將是考驗各個項目成敗的關(guān)鍵。

大硅片項目情況

硅產(chǎn)業(yè)集團

1.上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司

上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司（上海新昇）成立于2014年6月，致力于在我國研究、開發(fā)適用于尖端工藝節(jié)點的12英寸硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產(chǎn)業(yè)化成套量產(chǎn)工藝，建設(shè)12英寸半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)基地，實現(xiàn)12英寸半導(dǎo)體硅片的國產(chǎn)化。

項目總投資68億元，其中一期總投資23億元，專注40-28nm工藝節(jié)點的12英寸硅單晶生長、硅片加工、外延片制備。

2016年10月成功拉出第一根12英寸單晶硅錠。

2017年打通12英寸硅片全工藝流程，從2017年第二季度已經(jīng)開始向中芯國際等芯片代工企業(yè)提供40-28nm工藝節(jié)點12英寸硅片樣片進行認(rèn)證，并有擋片、陪片、測試片等產(chǎn)品持續(xù)銷售，正式出貨并實現(xiàn)小批量銷售。

2018年實現(xiàn)了12英寸硅片的規(guī)模化生產(chǎn)；一季度末，通過上海華力微電子有限公司的認(rèn)證并開始銷售。2018年實現(xiàn)收入超過2億元。在第一期月產(chǎn)能10萬硅片產(chǎn)能建設(shè)完成的同時，啟動第二個月產(chǎn)能10萬硅片產(chǎn)能的建設(shè)。

目前正在研發(fā)20-14nm工藝節(jié)點12英寸硅片，規(guī)劃建設(shè)月產(chǎn)能達5萬片20-14nm工藝節(jié)點12英寸硅片生產(chǎn)線。

預(yù)估2019年實現(xiàn)月產(chǎn)能20萬片，2020年底實現(xiàn)月產(chǎn)能30萬片，最終將形成月產(chǎn)60萬片12英寸硅片的產(chǎn)能。未來甚至可能高達月產(chǎn)100萬片規(guī)模。

2. 新傲科技

2016年，新傲科技宣布首個采用Soitec專有Smart Cut技術(shù)制作的200mm SOI晶圓在上海生產(chǎn)成功，經(jīng)過擴產(chǎn)，目前年產(chǎn)能已達18萬片。

為了更好地服務(wù)全球市場對RF-SOI和Power-SOI產(chǎn)品的增長性需求，2019年2月，新傲科技宣布擴大200mm SOI晶圓年產(chǎn)量，從年產(chǎn)18萬片增加至36萬片。

同時，新傲科技還在規(guī)劃12英寸SOI生產(chǎn)線，為未來毫米波射頻器件和FD-SOI做好準(zhǔn)備。

超硅半導(dǎo)體

1.上海超硅半導(dǎo)體有限公司

2018年7月30日，上海超硅半導(dǎo)體有限公司12英寸全自動智能化生產(chǎn)線項目開工建設(shè)。該項目一期投資60億元，建設(shè)周期為1.5年，預(yù)計2019年9月設(shè)備搬入，2019年12月產(chǎn)品下線。

總投資預(yù)計達到100億元。據(jù)悉，還將建設(shè)18英寸中試生產(chǎn)線，項目建成后將形成年產(chǎn)360萬片12英寸硅片和外延片以及12萬片18英寸拋片生產(chǎn)能力。

另外上海超硅半導(dǎo)體有限公司持有重慶超硅半導(dǎo)體有限公司7.35%、成都超硅半導(dǎo)體有限公司5%的股份。

2.重慶超硅半導(dǎo)體有限公司

重慶超硅項目總投資50億元，分三期建設(shè)，三期建設(shè)完成達產(chǎn)后將實現(xiàn)月產(chǎn)50萬片8英寸硅片和月產(chǎn)5萬片12英寸硅片的產(chǎn)能。

一期項目投資20億元，主要生產(chǎn)極大規(guī)模集成電路用8英寸/12英寸單晶硅晶體生長、硅片拋光及其延伸產(chǎn)品，建設(shè)年產(chǎn)180萬片硅片的產(chǎn)能。

一期項目于2014年5月開工，2016年4月投入試生產(chǎn)；2016年5月第一根集成電路級8英寸單晶硅棒成功拉出；2016年9月第一根集成電路級12英寸單晶硅棒成功拉出；2016年10月28日 第一批集成電路級單晶硅晶體生長和拋光片順利下線；2016年底成功實現(xiàn)8英寸硅片加工整線試生產(chǎn)、12英寸晶體生長，同時啟動了12英寸硅片加工生產(chǎn)線建設(shè)；2017年1月20日第一批8英寸硅片產(chǎn)品出廠發(fā)貨；2018年3月，在SEMICON CHINA2018上展示了國內(nèi)第一根18英寸集成電路用單晶硅棒。至此，公司已經(jīng)完成8英寸、12英寸、18英寸單晶硅棒的拉制工作。

重慶超硅的8英寸硅片已經(jīng)供不應(yīng)求，2018年安裝多套關(guān)鍵設(shè)備，2018年底月產(chǎn)能超過10萬片；12英寸硅片目前已經(jīng)在廠商驗證，2018年底形成25000片的產(chǎn)能。

3.成都超硅半導(dǎo)體有限公司

2017年8月云南城投集團與邛崍市人民政府簽署《成都超硅半導(dǎo)體生產(chǎn)基地項目》協(xié)議，協(xié)議中商定將在邛崍市建設(shè)超硅半導(dǎo)體生產(chǎn)基地。

項目總投資50億元，主要建設(shè)兩條12英寸晶圓生產(chǎn)線。，項目達產(chǎn)后，可實現(xiàn)月產(chǎn)50萬片12英寸硅片的產(chǎn)能。

項目于2018年3月31日舉行開工典禮，還沒有進行實質(zhì)建設(shè)。

中環(huán)半導(dǎo)體

中環(huán)股份的8-12英寸大硅片項目，晶體生長環(huán)節(jié)在內(nèi)蒙古呼和浩特，拋光片環(huán)節(jié)在天津和江蘇宜興。

1. 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司

中環(huán)領(lǐng)先的8英寸半導(dǎo)體區(qū)熔硅片實現(xiàn)量產(chǎn)，產(chǎn)能已陸續(xù)釋放，進一步確立了公司在區(qū)熔拋光片市場的地位。2018年未公司8英寸拋光片月產(chǎn)能已達到30萬片，年產(chǎn)量為 3.8億平方英寸；8寸區(qū)熔單晶硅片主要是滿足IGBT 器件領(lǐng)域。

12英寸拋光片試驗線實現(xiàn)月產(chǎn)能2萬片，是中國大陸第一家、全球第三家做12英寸功率硅片的工廠，目前有約10家客戶在認(rèn)證。

2.中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司

2017年10 月12日，中環(huán)股份、晶盛機電、無錫市政府簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，三方或以產(chǎn)業(yè)基金形式確定項目投資主體，共同在無錫宜興啟動建設(shè)集成電路用大硅片生產(chǎn)與制造項目。2019年中環(huán)領(lǐng)先集成電路用大硅片項目入選江蘇省級重大產(chǎn)業(yè)項目。

中環(huán)領(lǐng)先集成電路項目，總投資約30億美元，分兩期實施，由三方共同出資：天津中環(huán)半導(dǎo)體股份有限公司和中環(huán)香港控股有限公司合計出資60%，無錫產(chǎn)業(yè)發(fā)展集團旗下錫投產(chǎn)業(yè)（香港）有限公司出資30%，浙江晶盛機電股份有限公司出資10%。

2017年12月14日注冊成立項目公司--中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司（中環(huán)領(lǐng)先）。

2017年12月28日，項目一期開工建設(shè)，投資15億美元，其中裝備投入60億元，建設(shè)兩條8英寸生產(chǎn)線，月產(chǎn)能75萬片；一條12英寸試驗線，月產(chǎn)能2萬片；一條12英寸生產(chǎn)線，月產(chǎn)能15萬片。

項目一期于2019年2月進行試生產(chǎn)8英寸硅片，7月將進行規(guī)模化投產(chǎn)；12英寸功率硅片生產(chǎn)線將在2019年下半年進行設(shè)備安裝調(diào)試。

項目二期將于2020年開工建設(shè)，投資15億美元，建設(shè)兩條12英寸生產(chǎn)線，月產(chǎn)能35萬片。

整個項目投產(chǎn)以后將實現(xiàn)年產(chǎn)8英寸拋光片900萬片和12英寸拋光片600萬片的產(chǎn)能。

立昂微電子

1.浙江金瑞泓科技股份有限公司

浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力于半導(dǎo)體材料研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，是8具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片、芯片制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈的半導(dǎo)體企業(yè)。擁有完備的4英寸、5英寸、6英寸及8英寸硅片產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，形成了集成電路與分立器件、輕摻雜與重?fù)诫s、拋光片與外延片并重的特色。硅片年產(chǎn)能達到近800萬片，可以生產(chǎn)5000多種技術(shù)規(guī)格的硅片產(chǎn)品。

2010年，牽頭承擔(dān)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項，并于2017年5月通過國家驗收，具備了8英寸硅片月產(chǎn)12萬片的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化能力，掌握了12英寸硅片核心技術(shù)。

2009年公司率先打破我國8英寸硅片全部依賴進口的局面，實現(xiàn)8英寸硅片正式銷售。擁有減壓充氮直拉硅單晶、微量摻鍺直拉硅單晶及重?fù)搅?、硼、銻、砷硅單晶成套技術(shù)等數(shù)項具有自主知識產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)及獨特的技術(shù)訣竅。

公司是ONSEMI（安森美）、AOS(萬代)、TOSHIBA（東芝）、NXP（恩智普）等國際知名半導(dǎo)體公司的穩(wěn)定供應(yīng)商，也是中芯國際、華虹宏力、華潤上華、中航微電子、杭州士蘭微等國內(nèi)主要半導(dǎo)體企業(yè)的重要供應(yīng)商。

2.金瑞泓科技（衢州）有限公司

金瑞泓科技（衢州）有限公司項目規(guī)劃總投資50億元，建成月產(chǎn)40萬片8英寸硅片和月產(chǎn)10萬片12英寸硅片的項目規(guī)模。

項目計劃分三期逐步實施。一期總投資約7億元，建設(shè)周期為2017年至2019年，用地100畝，計劃2017年建成月產(chǎn)10萬片8英寸硅外延片項目；二三期項目總投資43億元，用地120畝，將形成月產(chǎn)30萬片8英寸硅片項目生產(chǎn)線和月產(chǎn)10萬片12英寸硅片項目生產(chǎn)線，填補國內(nèi)12英寸硅片生產(chǎn)線的空白。

2017年一期項目主體廠房已經(jīng)建成，8英寸硅外延生產(chǎn)線在2018年4月建成投產(chǎn)并實現(xiàn)批量銷售，8英寸的單晶、切、磨、拋廠房將在2019年三季度建成投產(chǎn)，屆時將全線拉通8英寸硅單晶、硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)線。

3.金瑞泓微電子（衢州）有限公司

2018年5月30日，由杭州立昂微電子股份有限公司投資83億元、年產(chǎn)360萬片集成電路用12英寸硅片項目正式簽約。

2018年9月19日，項目承擔(dān)單位金瑞泓微電子（衢州）有限公司成立，并引入上游多晶硅企業(yè)青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司作為股東。

項目一期投資35億元，租用金瑞泓科技（衢州）有限公司約70畝土地及地面約4萬平方米左右廠房，建設(shè)年產(chǎn)180萬片集成電路用12英寸硅片項目。二期投資48億元，建設(shè)年產(chǎn)180萬片集成電路用12英寸硅片項目。

2019年7月2日，首根12英寸半導(dǎo)體級硅單晶棒順利出爐。

山東有研半導(dǎo)體材料有限公司

2018年7月26日，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司落戶德州，是有研半導(dǎo)體材料有限公司投資的大硅片項目。項目已經(jīng)入選2019年山東省重點建設(shè)項目名單和山東省新舊動能轉(zhuǎn)換重大項目庫。

項目總投資80億元，分兩期進行建設(shè)。

一期建設(shè)項目總投資18億元，分為兩大部分，一是搬遷北京的舊產(chǎn)線（包括8英寸、6英寸產(chǎn)線），二是新上一條年產(chǎn)180萬片8英寸硅片生產(chǎn)線。

一期項目于2019年3月開工，目前正在進行樁基施工，計劃2020年底投產(chǎn)。項目全部達產(chǎn)后，可年產(chǎn)8英寸硅片276萬片、6英寸硅片180萬片、大直徑硅單晶300噸。

二期項目計劃投資62億元，建設(shè)年產(chǎn)360萬片12英寸硅片，將于明年初開工，2021年底建成投產(chǎn)。

申和熱磁

1. 杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司

杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司成立于2017年9月28日，由于上海申和熱磁電子有限公司、杭州大和熱磁電子有限公司、株式會社フェローテックホールディングス聯(lián)合成立。

2017年12月18日，項目正式開工，一期項目包括三條8英寸、兩條12英寸（300mm）半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。建設(shè)月產(chǎn)35萬片8英寸硅片項目和月產(chǎn)20萬片12英寸硅片項目，總投資60億元。

2018年5月28日，中建一局建設(shè)發(fā)展公司中標(biāo)杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司半導(dǎo)體大硅片項目施工總承包工程。該項目位于杭州市蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，廠區(qū)建筑物占地面積約5.7萬平方米，建筑總面積約為17.8萬平方米，其中包括1#生產(chǎn)調(diào)度廠房（FAB）、2#切磨拋廠房1（FAB1）、3#切磨拋廠房2（FAB2）、4#動力站及廢水站（CUB）和其他附屬棟建筑。

2019年6月試投產(chǎn)，首批8英寸硅拋光片順利下線。

2.寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司

寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司成立于2015年12月14日，是杭州中芯晶圓半導(dǎo)體股份有限公司的全資子公司。

2016年4月12日，寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司開工，項目總投資31億元。

2017年7月6日，一期項目年產(chǎn)180萬片8英寸硅片項目正式竣工投產(chǎn)。

2018年3月18日，總投資60億元的二期項目開工，項目建成后，可年產(chǎn)420萬片8英寸硅片和年產(chǎn)240萬片12英寸硅片。

鄭州合晶硅材料有限公司

鄭州合晶硅材料有限公司成立于2017年2月23日，是上海合晶硅材料有限公司的全資子公司。

鄭州合晶項目計劃總投資57億元。項目共分兩期實施，一期投資12億元，建設(shè)滿足月產(chǎn)能20萬片8英寸硅片，二期投資45億元，建設(shè)滿足產(chǎn)能為月產(chǎn)20萬片12英寸硅片和月產(chǎn)外延片7萬片。 

一期于2017年7月27日開工建設(shè)，2018年6月25日完成首根200毫米單晶硅棒的拉制，2018年10月26日一期200毫米硅單晶生產(chǎn)線的全面竣工投產(chǎn)。

注：由于臺灣合晶股份都還沒有能力生產(chǎn)12英寸硅片，估計二期的12英寸的路還很漫長。

安徽易芯半導(dǎo)體有限公司

易芯半導(dǎo)體通過多年的自主研發(fā)，成功開發(fā)出我國第一臺12英寸半導(dǎo)體級單晶硅晶體生長爐與全自動控制系統(tǒng)，掌握了國際領(lǐng)先的大直徑單晶硅棒生長技術(shù)與硅片產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗。

2015年12月，易芯半導(dǎo)體自主研發(fā)的12英寸芯片級單晶硅片通過了國家有色金屬及電子材料分析測試中心的檢測，送樣產(chǎn)品核心參數(shù)均通過測試，相關(guān)指標(biāo)達到國際標(biāo)準(zhǔn)。

2017年7月，易芯半導(dǎo)體一期項目實現(xiàn)八條12英寸單晶硅棒生產(chǎn)線的批量生產(chǎn)，年生產(chǎn)12英寸單晶硅棒170噸（成品）。

盡管易芯半導(dǎo)體掌握了大直徑單晶硅棒生長技術(shù)，但目前還沒有形成切磨拋的能力，公司正在積極籌措資金以布局切磨拋產(chǎn)能。

西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司

2017年12月9日，奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項目簽約。西安高新區(qū)與北京芯動能公司、北京奕斯偉公司三方共同簽署了硅產(chǎn)業(yè)基地項目投資合作意向書。根據(jù)意向書，該項目總投資110億元，預(yù)期達產(chǎn)后將形成月產(chǎn)50萬片12英寸硅片的產(chǎn)能；最終目標(biāo)成為月產(chǎn)能100萬片。

2018年2月9日，項目承擔(dān)單位西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司成立，是西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司全資子公司，而西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司是北京奕斯偉科技有限公司的全資子公司。

2018年7月7日參加“西安2018年第二批擴大有效投資重大項目集中開工儀式”。

2019年1月17日，1號生產(chǎn)廠房、2號拉晶廠房順利封頂；7月15日項目用110KV變電站投運，設(shè)備將開始聯(lián)機調(diào)試，標(biāo)志著項目進入投產(chǎn)倒計時。

四川經(jīng)略長豐半導(dǎo)體有限公司

2018年3月22日，四川經(jīng)略長豐半導(dǎo)體有限公司8/12英寸硅片項目開工。項目分兩期建設(shè)，其中一期工程計劃于一年內(nèi)完工。達產(chǎn)后，形成月產(chǎn)10萬片8英寸和月產(chǎn)40萬片12英寸硅片的生產(chǎn)能力。

根據(jù)《四川經(jīng)略長豐半導(dǎo)體有限公司集成電路用8/12英寸硅片產(chǎn)品項目環(huán)境影響評價第一次公示》信息表明，項目總投資50億元，投資方是深圳經(jīng)略長豐投資管理有限公司。

2019年3月開始討論項目用110KV變電站方案設(shè)計及預(yù)算。

廣西啟世半導(dǎo)體有限公司

2018年9月12日，廣西啟世半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)1440萬片集成電路用12英寸大硅片項目（中馬大硅片項目）落戶廣西欽州。

作為第十五屆中國—東盟博覽會國內(nèi)經(jīng)濟合作項目集中簽約項目之一，中馬大硅片項目落戶于中馬欽州產(chǎn)業(yè)園，總投資30億美元，主要建設(shè)12英寸大硅片生產(chǎn)線。項目計劃分三期建設(shè)，其中一期總投資10億美元，建設(shè)四條生產(chǎn)線，年產(chǎn)480萬片12英寸大硅片。

據(jù)查，廣西啟世半導(dǎo)體有限公司成立于2018年5月29日，董事長是金成默，總經(jīng)理是CHO KWAN SIK。投資方是深圳啟世投資有限公司，成立于2018年8月21日。

注：此項目存在非常大的不確定性。

中晶（嘉興）半導(dǎo)體有限公司

2019年1月19日中晶大硅片項目簽約嘉興科技城，項目總投資110億元，年產(chǎn)1200萬片12英寸大硅片。項目分兩期建設(shè)，其中一期投資60億元，年產(chǎn)480萬片12英寸大硅片。

據(jù)悉 ，2019年2月28日該項目簽訂土地出讓合同，4月12日取得建筑工程施工許可證并進場施工。

截至2019年6月底，中晶大硅片項目已建設(shè)投資4.3億元，其中設(shè)備投入3.39億元。

各廠房樁基工程已經(jīng)完成，預(yù)計2019年12月一期土建基本完成，2020年開始進行廠房裝修，2020年7月，項目一期廠房竣工投入使用，全部工程預(yù)計在2024年6月完成。

2019年7月入列2019年度浙江省第一批特別重大產(chǎn)業(yè)項目。

江蘇睿芯晶半導(dǎo)體科技有限公司投資

2019年3月項目簽約，計劃首期總投資約3億美金，建設(shè)12英寸半導(dǎo)體硅片月產(chǎn)能10萬片。

目前沒有任何實質(zhì)進展。

天芯硅片制造（湖北）有限公司

天芯硅片制造（湖北）有限公司成立于2019年1月。

據(jù)悉，廠房招標(biāo)工程于2019年4月完成。

中芯環(huán)球科技有限公司

中芯環(huán)球于2019年7月成立，目前正在與多地洽談硅片項目。

該公司和泉芯集成電路制造（濟南）有限公司有密切關(guān)系。中芯環(huán)球的總經(jīng)理鐘雄鷹是泉芯集成的董事長，中芯環(huán)球的副總經(jīng)理曹山是泉芯集成的總經(jīng)理。

濟南大硅片項目

山東省會濟南市念念不忘大硅片項目。從2018年至2019年多次組織大硅片項目認(rèn)證會。

中國電子級多晶硅布局

電子級多晶硅是集成電路產(chǎn)業(yè)上游核心原材料，我國政府雄心勃勃的發(fā)展規(guī)劃以及各大企業(yè)對大硅片項目的投資，將驅(qū)動電子級硅材料向前發(fā)展。2016年國家強基工程還支持了洛陽中硅高科技有限公司和江蘇鑫華半導(dǎo)體材料有限公司發(fā)展電子級多晶硅，引導(dǎo)行業(yè)提升整體競爭能力。

目前國內(nèi)從事電子級多晶硅材料研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)主要有青海黃河上游電子級多晶水電開發(fā)有限公司新能源公司（黃河新能源）、云南冶金云芯硅材股份有限公司（云冶芯材）、江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司（鑫華半導(dǎo)體）、洛陽中硅高新科技有限公司（洛陽中硅）、宜昌南玻硅材料有限公司（宜昌南玻），而新疆大全新能源股份有限公司（新疆大全）、新特能源股份有限公司（新特能源）等也在布局電子級多晶硅生產(chǎn)線。

目前黃河新能源、鑫華半導(dǎo)體、云冶芯材、洛陽中硅、宜昌南玻五家企業(yè)都發(fā)布了電子級多晶硅產(chǎn)品。目前國內(nèi)尚未量產(chǎn)12英寸集成電路硅片，12英寸硅片用電子級多晶硅完全由國外壟斷，8英寸及以下半導(dǎo)體硅片用電子級多晶硅已實現(xiàn)國產(chǎn)化。

青海黃河上游電子級多晶水電開發(fā)有限公司新能源公司

青海黃河上游電子級多晶水電開發(fā)有限公司新能源公司（黃河新能源）成立于2006年，同年開始多晶硅的研發(fā)工作，于2010年投產(chǎn)，形成年產(chǎn)2500噸高純電子級多晶硅產(chǎn)能。自2014年開始，連續(xù)4年銷售量超過百噸，國內(nèi)市場占有率達到11%。

黃河水電多晶硅采用改良西門子法，實現(xiàn)完全閉路循環(huán)，節(jié)能低耗、安全環(huán)保，其氧含量<0.02ppma，碳含量<0.02ppma，受主雜質(zhì)<0.03ppba，施主雜質(zhì)<0.05ppba，基體總金屬雜質(zhì)<2ppbw。

黃河新能源經(jīng)過近十年的努力，建成了國內(nèi)第一條電子級多晶硅生產(chǎn)線，生產(chǎn)出符合集成電路應(yīng)用的高純電子級多晶硅，并率先在國內(nèi)建立了一套完整的滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的電子級多晶硅產(chǎn)品檢測標(biāo)準(zhǔn)、指標(biāo)體系和檢測質(zhì)量控制流程，擁有目前國內(nèi)唯一按照國際半導(dǎo)體材料與設(shè)備協(xié)會（SEMI）標(biāo)準(zhǔn)配置的多晶硅檢測實驗室。

黃河公司在不斷推動產(chǎn)品升級的同時，還利用國內(nèi)首套完整的冷氫化技術(shù)，實現(xiàn)了產(chǎn)線中副產(chǎn)物的循環(huán)利用，冷氫化四氯化硅轉(zhuǎn)化率達到國內(nèi)最高水平，還原爐回收尾氣經(jīng)處理后達到電子級多晶硅生產(chǎn)要求，實現(xiàn)完全閉路循環(huán)和環(huán)保降耗。

據(jù)悉，黃河新能源電子級多晶硅通過了北京有研半導(dǎo)體材料有限公司、西安華晶電子技術(shù)股份有限公司、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司產(chǎn)品驗證，一致認(rèn)為產(chǎn)品質(zhì)量可以滿足集成電路需求。

2013年度和2014年度均通過浙江金瑞泓科技股份有限公司的關(guān)鍵供方考察審核，獲得該公司供應(yīng)商資格，于2014年6月與浙江金瑞泓科技股份有限公司簽訂《電子級多晶硅產(chǎn)品長期合作框架協(xié)議》，并共同參與6英寸、8英寸、12英寸硅片的論證實驗。

江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司

2015年12月11日，江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司成立，由國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資成立。

公司采用改良西門子法循環(huán)利用氯硅烷工藝生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品，公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸，未來規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線。

鑫華半導(dǎo)體依托協(xié)鑫11年的多晶硅制造成熟經(jīng)驗，聯(lián)合海內(nèi)外千余人研發(fā)團隊，歷經(jīng)317次電子級多晶硅生產(chǎn)試驗，對629項技術(shù)、設(shè)備優(yōu)化改進，通過對原料純化系統(tǒng)的重新設(shè)計，實現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)。團隊通過選用半導(dǎo)體級材料和制造全面潔凈設(shè)備，系統(tǒng)性解決了雜質(zhì)釋放問題，并且全球首創(chuàng)自動化無接觸硅料處理系統(tǒng)。

2017年11月8日，公司正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品，目前產(chǎn)品指標(biāo)經(jīng)第三方測試遠(yuǎn)超國標(biāo)電子一級品指標(biāo)，試?yán)w效果完美。公司稱產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸硅片制造需求。

2018年5月，公司電子級多晶硅出口韓國。2018年11月公司所有設(shè)備全面投用，電子級多晶硅質(zhì)量全面比肩國際先進水平，標(biāo)志著我國電子級多晶硅成套技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備均已實現(xiàn)國產(chǎn)化。

洛陽中硅高科技有限公司

公司成立于2003年3月，總部位于洛陽，現(xiàn)有兩個生產(chǎn)基地（洛陽洛龍、偃師）和一個國家級重點工程實驗室。主要經(jīng)營高純多晶硅、氣相白炭黑、高純四氯化硅、高純硅化合物產(chǎn)品、無水氯化氫等產(chǎn)品，并提供硅化合物技術(shù)服務(wù)。截止目前公司多晶硅年產(chǎn)能為20000萬噸。

中硅高科是擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，工藝技術(shù)具有能量綜合利用、物料閉路循環(huán)兩大特點，符合大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的發(fā)展方向。使用該工藝生產(chǎn)的多晶硅質(zhì)量穩(wěn)定可控，可根據(jù)客戶要求提供不同等級、不同形態(tài)的產(chǎn)品。

中硅高科正以用于電子芯片生產(chǎn)的區(qū)熔級多晶硅為突破口，打造國內(nèi)區(qū)熔級多晶硅生產(chǎn)線，向價值鏈更高端躍升。

云南冶金云芯硅材股份有限公司

云南冶金云芯硅材股份有限公司的前身是成立于2000年的昆明冶研新材料股份有限公司（昆明冶研），系1953年成立的昆明冶金研究院分離改制而來的一家高新技術(shù)公司，2012年7月26日，公司將注冊地由昆明搬遷至曲靖，2017年6月更名。

實際上，早在2006年，云南冶金集團將電子級多晶硅產(chǎn)業(yè)化項目作為戰(zhàn)略性新興板塊置入云冶新材（原昆明冶研）具體實施。

2013年6月總投資36億元的以電子級多晶硅為目標(biāo)的3000噸/年多晶硅產(chǎn)業(yè)化項目建成投產(chǎn)，部分產(chǎn)品達電子級標(biāo)準(zhǔn)。經(jīng)過試用，可滿足“半導(dǎo)體器件使用要求”，2014年實現(xiàn)電子級多晶硅銷售。2015年開始進行冷氫化技改，2016年9月達產(chǎn)，產(chǎn)能達6000噸/年。

2015年10月成功實現(xiàn)質(zhì)量滿足GB/T 12963-2014《電子級多晶硅》電子1級產(chǎn)品的批量穩(wěn)定生產(chǎn)，至今已經(jīng)產(chǎn)出電子級多晶硅1000多噸。

宜昌南玻硅材料有限公司

宜昌南玻硅材料有限公司于2006年8月成立，隸屬于中國南玻集團太陽能事業(yè)部，是一家專業(yè)從事高純多晶硅、高效硅片、納米白炭黑、石英坩堝生產(chǎn)的大型制造企業(yè)。

公司目前已經(jīng)形成了年產(chǎn)12000噸高純多晶硅（其中電子級多晶硅2500噸/年、太陽能級多晶硅9500噸/年）、2.2GW高效硅片以及綜合利用多晶硅尾氣殘液年產(chǎn)3400噸納米白炭黑的生產(chǎn)能力。

宜昌南玻多晶硅采用改良西門子法，增加還原尾氣干法回收系統(tǒng)、四氯化硅氫化工藝，實現(xiàn)了全閉路循環(huán)。該方法降低了單位產(chǎn)品的能耗，采用四氯化硅氫化和尾氣干法回收工藝，降低了原輔材料的消耗，保護了資源。

公司多晶硅質(zhì)量居行業(yè)先進水平，并積極儲備電子級多晶硅生產(chǎn)工藝技術(shù)。據(jù)悉，公司目前電子級多晶硅產(chǎn)量在800到850噸，內(nèi)在質(zhì)量達到國標(biāo)電子三級以上，全部用于光伏產(chǎn)品，少量優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品經(jīng)深度腐蝕后送下游半導(dǎo)體廠家試用。

目前電子級多晶硅還沒有形成量產(chǎn)。為具備批量供貨能力，公司正在籌建半導(dǎo)體級專用產(chǎn)線，視市場情況推進產(chǎn)線升級。

新疆大全新能源股份有限公司

新疆大全新能源股份有限公司專注高純度多晶硅專業(yè)生產(chǎn)。公司從國外引進世界領(lǐng)先的設(shè)備和生產(chǎn)工藝，通過消化吸收、技術(shù)創(chuàng)新實現(xiàn)全自動、全循環(huán)的閉環(huán)式運行制造高純多晶硅。生產(chǎn)過程物料利用率高、能耗低、綠色環(huán)保，各項技術(shù)指標(biāo)達到國際先進水平。

公司生產(chǎn)的高純度多晶硅主要用于太陽能光伏，年產(chǎn)能為1.8萬噸。

為搶抓國家關(guān)鍵核心產(chǎn)業(yè)布局，公司積極儲備電子級多晶硅技術(shù)。2017年10月20日，公司年產(chǎn)13000噸多晶硅項目B階段開工建設(shè)，包括建設(shè)年產(chǎn)2500噸的電子級多晶硅產(chǎn)能。整體工程已經(jīng)于2018年12月開始投產(chǎn)，相關(guān)電子級多晶硅情況還不明朗。

新特能源股份有限公司

新特能源股份有限公司是特變電工控股子公司，是專業(yè)從事光伏新能源產(chǎn)品研制及技術(shù)研發(fā)的高新技術(shù)企業(yè)，在多晶硅產(chǎn)品制造領(lǐng)域，公司具備3萬噸生產(chǎn)能力。

新特能源研發(fā)出大規(guī)模電子級多晶硅生產(chǎn)的系列化配套工藝技術(shù)體系，從而實現(xiàn)電子級多晶硅國產(chǎn)化。

為了把握行業(yè)發(fā)展機遇，2018年公司開始實施年產(chǎn)3.6萬噸高純多晶硅產(chǎn)業(yè)升級項目的建設(shè)，項目生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品品質(zhì)將全部達到電子級二級及以上，服務(wù)于高品質(zhì)的單、多晶硅片用料市場，于2019年上半年項目建成投產(chǎn)，其中包括年產(chǎn)1500噸的電子級多晶硅生產(chǎn)線。

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